清华大学发明新型溅射离子泵
申请(专利)号：200510035928.4

名称：溅射离子泵

公开(公告)日：2007.01.10

申请(专利权)人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司

地址：518109北京市海淀区清华大学物理系

发明(设计)人：潜力;唐洁;刘亮;齐京;陈丕瑾;胡昭复;范守善

摘要

一种溅射离子泵，其包括：一真空容器，该真空容器壁上至少设置有一电子注入孔；两阳极电极杆设置于真空容器内，该两阳极电极杆相对于该真空容器的中心轴轴向对称；以及至少一冷阴极电子发射装置与电子注入孔对应，设置于真空容器筒壁上的电子注入孔外侧。
时间：2007-3-10 16:39:26
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